国家/地区 中国(9)
IPC部 C(7) B(2) H(2)
IPC大类 C01(4) C03(2) C23(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(2)
IPC C01B032/194(3) C23C016/26(2)
发明人 LIANG Y(9)
公开年 2017(5) 2020(3)
申请年 2016(5)  2020(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(9)