国家/地区 中国(21)
IPC部 C(16) G(4)
IPC大类 C01(9) C23(6) G01(4)
C30(3) C03(2)
IPC小类 C01B(9) C23C(6) G01N(4)
C30B(3)
IPC C01B031/04(4) C01B032/194(3) C23C016/02(3)
C23C016/26(3) C30B025/18(2) C30B029/02(2)
发明人 SUI Y(21)
公开年 2017(9) 2015(6) 2014(3) 2020(2)
申请年 2016(7)  2014(6)  2015(6) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(21)