国家/地区 中国(4) 日本(2)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2) C23(2)
C30(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) C23C(2)
C30B(2)
IPC C01B032/186(2) C23C014/06(2) C23C016/26(2)
发明人 XIE H(5)
公开年 2015(3) 2016(2)
申请年 2015(5)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)