国家/地区 中国(16)
IPC部 C(11) H(7) B(4)
IPC大类 C01(10) H01(7) C09(5)
B82(3)
IPC小类 C01B(10) H01L(7) C09K(5)
B82Y(3)
IPC C01B031/04(9) H01L021/336(5) B82Y040/00(3)
C09K011/65(3) C09K005/14(2) H01L021/28(2)
发明人 XIE X(16)
公开年 2014(16)
申请年 2013(8)  2014(8) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(16)