国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C23(5) C01(3) C03(2)
IPC小类 C23C(5) C01B(3)
IPC C23C016/02(3) C23C016/26(3)
发明人 ZHANG Y(9)
公开年 2017(9)
申请年 2016(6)  2015(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(9)