国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L021/02(2)
发明人 ALAZMI A S(2)
公开年 2018(6)
申请年 2017(6)
专利权人 UNIV KING ABDULLAH SCI TECHNOLOGY(6)