国家/地区 美国(8)
IPC部 G(4) H(4) A(2)
B(2)
IPC大类 H01(4) G01(3) A61(2)
IPC小类 G01N(2) H01L(2)
IPC G01N027/327(2)
发明人 KAR S(2)
公开年 2021(4) 2022(3)
申请年 2020(3)  2021(2)  2022(2) 
专利权人 UNIV NORTHEASTERN(8)