国家/地区 中国(8)
IPC部 C(5) H(4) B(2)
IPC大类 C01(4) H01(4)
IPC小类 C01B(4) H01L(3)
IPC C01B032/184(4)
发明人 HUANG Q(3) YE H(3) LIN J(2)
公开年 2022(8)
申请年 2022(7) 
专利权人 UNIV SOUTHERN SCI TECHNOLOGY(8)