国家/地区 美国(7)
IPC部 H(5) B(4) C(3)
IPC大类 H01(5) B01(2) B82(2)
C02(2)
IPC小类 H01L(4) B01D(2) B82Y(2)
C02F(2)
IPC B01D053/22(2) B01D069/14(2) B01D071/02(2)
B01D071/44(2) C02F001/44(2) H01L029/06(2)
H01L031/0336(2)
发明人 KUB F J(3) ANDERSON T J(2) KOLELVEETIL M K(2)
SHEEHAN P E(2)
公开年 2014(4)
申请年 2014(7)
专利权人 US SEC OF NAVY(7)