国家/地区 韩国(6) 美国(3)
IPC部 C(4) H(3) B(2)
IPC大类 H01(3) B01(2) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L021/768(2)
发明人 AHN S(6)
公开年 2022(5)
申请年 2021(6)
专利权人 KOREA INST S.(2) SAMSUNG ELEC.(2)