国家/地区 韩国(7) 美国(3)
IPC部 C(6) B(2) H(2)
IPC大类 B01(2) C01(2) C08(2)
C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) C08J(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC H01L021/768(2)
发明人 AHN S(7)
公开年 2022(7)
申请年 2021(5)  2020(2) 
专利权人 KOREA INST S.(4) SAMSUNG ELEC.(2)