国家/地区 中国(9)
IPC部 H(6) B(5) C(4)
IPC大类 H01(5) B01(2)
IPC小类 B01J(2) H01L(2)
IPC H01L027/15(2) H01L033/00(2) H01L033/62(2)
发明人 CAI M(9)
公开年 2023(9)
申请年 2023(4)  2022(3)  2021(2) 
专利权人 CHONGQING KA.(2)