国家/地区 韩国(5) 美国(5) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4) C(4) H(3)
G(2)
IPC大类 C01(3) H01(3) B05(2)
B82(2) C23(2)
IPC小类 C01B(3) B05D(2) B82Y(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
发明人 CHO S(5)
公开年 2012(5)
申请年 2011(5) 
专利权人 HANWHA TECHW.(3) SAMSUNG TECH.(3) SAMSUNG ELEC.(2)