国家/地区 韩国(5) 美国(4)
IPC部 H(4) C(3) G(2)
IPC大类 H01(4) C01(2) G03(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) G03F(2)
IPC C01B031/04(2) G03F007/09(2) G03F007/11(2)
H01L021/027(2)
发明人 CHO Y(6)
公开年 2016(6)
申请年 2015(4)  2014(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) AICT(2) PURITECH CO .(2)

SHIN H, KIM S, SEOL M, PARK S, CHO Y, SHIN H J, KIM S W, SEOL M S, PARK S J, CHO Y C, XUE M, ZHAO L