国家/地区 美国(10) 韩国(7) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(9) H(7) C(6)
G(3)
IPC大类 H01(7) C01(6) B01(4)
B82(4) B32(3) C23(2)
G06(2)
IPC小类 C01B(6) H01L(6) B32B(3)
B82Y(3) B01D(2) B01J(2)
C23C(2) G06F(2)
IPC C01B031/02(4) C01B031/04(3) H01L029/16(3)
B01D053/22(2) B01D067/00(2) B01D071/02(2)
B32B009/00(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
H01L021/02(2) H01L035/34(2)
发明人 CHOI J(12)
公开年 2014(10) 2013(2)
申请年 2013(12)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(9) UNIV SUNGKYU.(4) CHANGZHOU TA.(2) CHOI J(2)
UNIV HANYANG.(2)