国家/地区 韩国(6) 美国(2)
IPC部 B(4) H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) B01(3) C23(3)
B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(4) C23C(3) B01J(2)
B82Y(2) C01B(2)
IPC H01L021/336(3) H01L029/78(3) B01J019/08(2)
C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/027(2)
发明人 CHOI S Y(6)
公开年 2012(6)
申请年 2011(4)  2010(2) 
专利权人 KOREA ADV IN.(4) ELECTRONICS .(2)