国家/地区 中国(5)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L021/285(2) H01L021/336(2) H01L029/423(2)
H01L029/78(2)
发明人 DI Z(5)
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2013(5)
专利权人 SHANGHAI INS.(4)