国家/地区 中国(9)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 H01(4) C01(3) C08(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3)
IPC H01L021/28(3) C01B032/194(2) H01L021/285(2)
H01L029/423(2)
发明人 DI Z(9)
公开年 2021(8)
申请年 2021(9)
专利权人 SHANGHAI INS.(5)