| 国家/地区 | 中国(9) |
| IPC部 | C(5) H(4) |
| IPC大类 |
H01(4)
C01(3)
C08(2)
|
| IPC小类 | H01L(4) C01B(3) |
| IPC |
H01L021/28(3)
C01B032/194(2)
H01L021/285(2)
H01L029/423(2) |
| 发明人 |
DI Z(9)
|
| 公开年 | 2021(8) |
| 申请年 |
2021(9)
|
| 专利权人 | SHANGHAI INS.(5) |
GUI J, TIAN Z, LIU Z, ZHANG L, DI Z, WANG S, XU Y, REN B
MA S, XU Y, LIAN B, WANG Q, ZHANG W, WANG X, SHEN X, XU K, DI Z, LI M, FANG J
DAI Z, ZHANG F, ZHANG J, DI Z
DI Z, LIU G, XUE Z, TIAN Z, ZHANG M
DI Z, LIU G, XUE Z, TIAN Z, ZHANG M
DI Z, LIU G, XUE Z, TIAN Z, ZHANG M
