国家/地区 中国(6)
IPC部 C(5) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3)
IPC小类 C01B(4) H01L(3)
IPC C01B032/186(2) H01L021/02(2)
发明人 DI Z(6)
公开年 2017(6)
申请年 2015(4)  2016(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(5)