国家/地区 中国(15) 世界知识产权组织(6) 美国(3)
IPC部 C(13) B(3) H(2)
IPC大类 C01(12) C23(6) B82(3)
C30(3) H01(2)
IPC小类 C01B(12) C23C(6) B82Y(3)
C30B(3) H01L(2)
IPC C01B031/04(11) C23C016/26(5) B82Y040/00(3)
C23C016/02(3) B82Y030/00(2) C01B031/02(2)
发明人 DING G(15)
公开年 2012(9) 2013(6)
申请年 2012(11)  2011(2)  2013(2) 
专利权人 CHINESE ACAD SCI SHANGHAI MICROSYSTEM(15)