国家/地区 |
中国(14)![]() |
IPC部 |
C(8)
B(6)
H(3)
D(2) G(2) |
IPC大类 |
B01(4)
C01(4)
C02(2)
C07(2) G03(2) H01(2) |
IPC小类 |
B01J(4)
C01B(4)
C02F(2)
C07C(2) G03F(2) H01L(2) |
IPC |
C01B032/184(2)
C01B032/198(2)
C02F101/30(2)
G03F001/62(2) |
发明人 |
GAO C(14)![]() |
公开年 |
2022(14)![]() |
申请年 |
2021(14)![]() |
专利权人 | HANGZHOU GAO.(2) TAIWAN SEMIC.(2) UNIV ZHEJIAN.(2) |
LIN J, GAO C, LI X, LIAN D, XU B, HSU P, LIEN T, LEE H, GAU T, LIN C
LIN J, GAO C, CHEN L, LIAN D, XU B, LI X, LIN C, GAU T, LIEN T, HSU P, LEE H
GUO X, GOU M, SONG Y, ZHANG Z, CHEN M, WANG H, GAO C, LI B, LIU J
WANG Z, XU Z, LIU Y, LI P, GAO C
SHANG Y, ZHU R, YANG B, QIN J, GAO C, SUN H, PENG W