国家/地区 中国(14)
IPC部 C(8) B(6) H(3)
D(2) G(2)
IPC大类 B01(4) C01(4) C02(2)
C07(2) G03(2) H01(2)
IPC小类 B01J(4) C01B(4) C02F(2)
C07C(2) G03F(2) H01L(2)
IPC C01B032/184(2) C01B032/198(2) C02F101/30(2)
G03F001/62(2)
发明人 GAO C(14)
公开年 2022(14)
申请年 2021(14)
专利权人 HANGZHOU GAO.(2) TAIWAN SEMIC.(2) UNIV ZHEJIAN.(2)