| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC |
C23C016/26(2)
H01L043/06(2)
H01L043/14(2)
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| 发明人 |
JIANG M(5)
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| 公开年 |
2016(5)
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| 申请年 | 2016(3) 2015(2) |
| 专利权人 | SHANGHAI INS.(5) |
WANG H, XIE H, LI L, YANG P, XIE X, JIANG M
WANG H, XIE H, WANG X, XIE X, JIANG M
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
JIANG M, LU G, XIE X, YANG C, WU T, ZHANG X, WANG H
