国家/地区 中国(4)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C23C(2)
IPC C23C016/26(2) H01L043/06(2) H01L043/14(2)
发明人 JIANG M(5)
公开年 2016(5)
申请年 2016(3)  2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INS.(5)