国家/地区 中国(5) 韩国(5) 美国(5) 日本(2)
IPC部 H(4) B(2) C(2)
IPC大类 H01(4) B82(2) C01(2)
C23(2)
IPC小类 H01L(4) B82Y(2) C01B(2)
C23C(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C01B031/04(2) C23C016/26(2)
发明人 KANG S(5)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(5)

BAE S, CHUNG H, HEO J, JUNG M, KANG S, SEO D, SEO S, WOO Y, BAE S K, CHUNG H J, HEO J S, JUNG M H, KANG S R, SEO S A, WOO Y S, JUNG H J, HUH J S, YEO R, HUH J, JUNG H