国家/地区 韩国(8) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(7) H(5) B(3)
IPC大类 C01(5) H01(5)
IPC小类 C01B(5) H01L(3)
IPC C01B031/04(3) C01B031/02(2) H01L051/50(2)
发明人 KIM C K(8)
公开年 2014(6)
申请年 2013(3)  2012(2) 
专利权人 KOREA INST S.(6)