国家/地区 韩国(9) 美国(8) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(7) H(6) B(3)
A(2) G(2)
IPC大类 H01(6) C01(3) C23(3)
A61(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) C23C(3)
H01S(2)
IPC H01L027/15(2) H01L031/0224(2) H01L031/18(2)
H01L033/00(2)
发明人 KIM D(11)
公开年 2023(6) 2022(5)
申请年 2022(11)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) KOREA INST S.(2) UNIV SEOUL N.(2)