| 国家/地区 | 韩国(5) 美国(4) 中国(2) |
| IPC部 | H(5) C(4) |
| IPC大类 |
H01(5)
C23(3)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(5)
C23C(3)
C01B(2)
|
| IPC |
C23C016/02(3)
C23C016/455(3)
H01L021/02(3)
C23C016/30(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
KIM H S(5)
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| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD(5)
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KIM H, KIM S H, LEE J E, JIN X, KIM S, LI J, KIM H S
LEE E, AHN W, KIM H, LEE H, LEE H S, KIM H S, AHN W S, HA L
BYUN K, KIM H, PARK T, SHIN H, AHN W, LEEM M, CHO Y, JIN H, PIAO T, SHEN X, LIN M, ZHAO L, BYUN K E, KIM H S, PARK T J, SHIN H J, AHN W S, CHO Y C
JEONG S J, KIM H S, KIM Y S, PARK S J, KIM H J, SEOL D H, YANG J H
JEONG S, PARK S, SHIN H, GU Y, KIM H, YANG J, GU Y H, JEONG S J, KIM H S, PARK S J, SHIN H J, YANG J H
