国家/地区 韩国(6)
IPC部 G(4) H(4) C(3)
B(2)
IPC大类 H01(4) G03(3) B01(2)
C01(2) G02(2) H05(2)
IPC小类 G03F(3) H01L(3) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/027(2)
发明人 KIM M J(6)
公开年 2014(2) 2017(2)
申请年 2013(2)  2016(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4)