| 国家/地区 | 中国(5) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(4) H(4) |
| IPC大类 | H01(4) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 |
KONG W(7)
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| 公开年 | 2019(3) 2020(3) |
| 申请年 |
2019(7)
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| 专利权人 | HEFEI ORIGIN.(2) MASSACHUSETT.(2) |
MYERSWARD R L, KIM J, QIAO K, KONG W, GASKILL D K, MAEKAWA T, MASAGO N
LI X, WANG H, KONG W, FAN R, YAO K
