国家/地区 中国(5) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4) H(4)
IPC大类 H01(4) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C23C(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人 KONG W(7)
公开年 2019(3) 2020(3)
申请年 2019(7)
专利权人 HEFEI ORIGIN.(2) MASSACHUSETT.(2)