国家/地区 韩国(6) 美国(4)
IPC部 H(6) C(3) G(2)
IPC大类 H01(6) C23(3) C01(2)
G02(2)
IPC小类 H01L(4) C23C(3) C01B(2)
G02F(2) H01M(2)
IPC C23C016/02(3) C01B032/186(2) C23C016/26(2)
C23C016/513(2) H01L021/285(2)
发明人 LEE E(7)
公开年 2021(4) 2022(2)
申请年 2020(7)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(5) UNIV SUNGKYU.(3)