国家/地区 韩国(6) 美国(6)
IPC部 B(5) H(4) C(3)
IPC大类 B82(4) H01(4) C01(3)
C23(2)
IPC小类 H01L(4) B82B(3) C01B(3)
B82Y(2) C23C(2)
IPC C01B031/02(3) B82B003/00(2) B82Y040/00(2)
发明人 LEE J(6)
公开年 2011(6)
申请年 2010(5) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) UNIV HANYANG.(3) UNIV HANYANG.(3) LEE J(2)

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J