国家/地区 韩国(6) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5) H(5)
IPC大类 C01(5) H01(5) C23(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
发明人 LEE S H(7)
公开年 2016(4) 2017(2)
申请年 2016(7)
专利权人 KOREA INST S.(3)