| 国家/地区 | 韩国(6) 美国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(5) H(5) |
| IPC大类 |
C01(5)
H01(5)
C23(2)
|
| IPC小类 |
C01B(5)
H01L(3)
C23C(2)
|
| IPC |
C01B031/04(4)
C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
H01L029/16(2) |
| 发明人 |
LEE S H(7)
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| 公开年 | 2016(4) 2017(2) |
| 申请年 |
2016(7)
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| 专利权人 | KOREA INST S.(3) |
BAE S, KIM S J, RHO H K, LEE S K, KIM T W, LEE D S, LEE S H
BAE S, KIM S J, KIM T W, LEE S H, KIM M J, LEE S K, SEO T H, PARK M
YEON S, JEON M, SHIN K, JIN C, LEE B, PARK S, KIM D, LEE S H, YEON S H, JIN C S, JEON M S, LEE B S, SHIN K H, PARK S K, KIM D H
LEE Y, CHO M S, LEE S H, JUNG Y J, SANG H L, YOO J J
KIM K, LEE S, KIM M, KIM K B, LEE S H, KIM K J, KIM M S
JOH H, SON S Y, LEE S H, KIM T
KIM Y, AHN C, SOOD A, POP E, WONG H S P, GOODSON K E, FONG S, LEE S, NEUMANN C M, ASHEGHI M, KIM Y S, AHN C Y, LEE S H, WONG H P
