国家/地区 中国(11)
IPC部 H(7) C(5) B(4)
G(4)
IPC大类 H01(7) C01(4) G03(4)
B01(2) B82(2) C07(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(4) G03F(4)
B01J(2) B82Y(2) C07C(2)
IPC G03F001/62(4) G03F001/22(3) H01L021/033(3)
H01L023/532(3) B01J029/84(2) B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2) C01B032/194(2) C07C002/86(2)
C07C015/08(2) G03F001/48(2) G03F001/64(2)
H01L021/768(2)
发明人 LI X(11)
公开年 2022(6) 2018(3) 2014(2)
申请年 2021(4)  2013(2)  2016(2)  2022(2) 
专利权人 TAIWAN SEMIC.(5) CHINA PETROC.(2) CHINA PETROL.(2) CHINA PETROL.(2)
SAMSUNG ELEC.(2) SHANGHAI PET.(2) TAIWAN TEXTI.(2)