国家/地区 中国(7)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
G(2)
IPC大类 G01(2) H01(2)
IPC小类 G01L(2) H01L(2)
IPC G01L001/22(2) G01L009/04(2) H01L021/027(2)
H01L021/268(2)
发明人 LIANG J(7)
公开年 2017(7)
申请年 2017(7)
专利权人 UNIV TSINGHU.(4)