国家/地区 美国(6)
IPC部 H(6) B(2) C(2)
IPC大类 H01(6) B82(2) C23(2)
IPC小类 H01L(6) B82Y(2) C23C(2)
IPC H01L029/06(4) H01L021/02(3) H01L021/336(3)
H01L029/78(3) B82Y040/00(2) B82Y099/00(2)
C23C016/02(2) C23C016/26(2) H01L029/16(2)
H01L029/66(2) H01L029/775(2) H01L029/786(2)
发明人 LIANG Q(6)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 INST MICROEL.(4) LIANG Q(3) ZHU H(3) APPLIED MATE.(2)
JIN Z(2) ZHONG H(2)