国家/地区 中国(13)
IPC部 H(9) C(4) B(3)
IPC大类 H01(9) C23(2)
IPC小类 H01L(9) C23C(2)
IPC H01L033/00(3) H01L041/113(3) C23C014/14(2)
C23C014/35(2) C23C016/26(2) H01L031/18(2)
H01L033/04(2) H01L033/32(2) H01L033/40(2)
H01L041/047(2) H01L041/29(2)
发明人 LIN S(14)
公开年 2017(8) 2016(6)
申请年 2016(14)
专利权人 UNIV ZHEJIAN.(5) LIAONING ADV.(3) SHENYANG INS.(3)