| 国家/地区 | 中国(13) |
| IPC部 |
H(9)
C(4)
B(3)
|
| IPC大类 | H01(9) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(9) C23C(2) |
| IPC |
H01L033/00(3)
H01L041/113(3)
C23C014/14(2)
C23C014/35(2) C23C016/26(2) H01L031/18(2) H01L033/04(2) H01L033/32(2) H01L033/40(2) H01L041/047(2) H01L041/29(2) |
| 发明人 |
LIN S(14)
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| 公开年 | 2017(8) 2016(6) |
| 申请年 |
2016(14)
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| 专利权人 | UNIV ZHEJIAN.(5) LIAONING ADV.(3) SHENYANG INS.(3) |
LIN S, RUAN X, FENG J, CHEN H, ZHANG X
LIN S, LU Y, WU Z, XU W, FENG S, WU J
LIN Y, ZHOU T, LI G, CAI X, LIN S, LIU Y, TIAN Y
DONG L, LIN S, LU H, ZHANG J
