国家/地区 中国(14)
IPC部 C(8) H(5) B(2)
IPC大类 C01(6) H01(5) C23(2)
IPC小类 C01B(6) C23C(2) H01J(2)
H01L(2)
IPC C01B031/04(6) C23C016/26(2) H01J009/02(2)
发明人 LIU J(14)
公开年 2013(5) 2016(3) 2015(2) 2022(2)
申请年 2013(4)  2016(3)  2012(2)  2015(2)  2022(2) 
专利权人 UNIV CHINA ELECTRONIC SCI TECHNOLOGY(14)