国家/地区 中国(14)
IPC部 C(7) H(5)
IPC大类 C01(7) H01(5)
IPC小类 C01B(7) H01L(3)
IPC C01B031/04(5) C01B031/00(3) H01L021/336(2)
发明人 LU W(14)
公开年 2015(8) 2016(4) 2017(2)
申请年 2015(14)
专利权人 UNIV ZHEJIAN.(7)