国家/地区 韩国(8) 美国(2)
IPC部 G(4) H(4) B(3)
C(2)
IPC大类 H01(4) B01(2) C01(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(3) B01J(2) C01B(2)
G01N(2)
IPC H01L051/52(2)
发明人 PARK J(8)
公开年 2020(8)
申请年 2019(5)  2018(3) 
专利权人 HANWHA AEROS.(2)