国家/地区 中国(7)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(4) B01(2) C01(2)
IPC小类 H01L(4) B01J(2) C01B(2)
IPC H01L021/336(2) H01L029/16(2)
发明人 PENG S(7)
公开年 2013(5) 2014(2)
申请年 2013(7)
专利权人 INST MICROEL.(4) UNIV HENAN S.(2)