国家/地区 中国(6) 世界知识产权组织(4) 美国(3) 日本(2)
IPC部 C(6) B(3) H(2)
IPC大类 C01(5) C23(5) C30(3)
B82(2) H01(2)
IPC小类 C01B(5) C23C(5) C30B(3)
B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(4) C23C016/26(4) C01B031/04(3)
B82Y040/00(2) C01B032/186(2) C23C014/06(2)
C23C016/50(2) C30B023/00(2) C30B025/00(2)
C30B029/02(2)
发明人 TANG S(7)
公开年 2012(3) 2015(2)
申请年 2011(2)  2013(2)  2015(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)