国家/地区 中国(12)
IPC部 C(8) B(7) H(3)
IPC大类 B01(5) C01(5) H01(3)
B21(2) C22(2) C23(2)
IPC小类 C01B(5) B01D(3) B01J(2)
B21C(2) C22F(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC B01D017/022(3) B01D067/00(3) B01D069/12(3)
C01B032/19(3) B01D071/02(2) B21C037/04(2)
C23C018/16(2) H01L021/60(2)
发明人 TIAN S(12)
公开年 2017(12)
申请年 2017(7)  2016(5) 
专利权人 UNIV JIANGSU(5) SHANGHAI XIN.(3) ZHEJIANG CHI.(3) SHENZHEN YUA.(2)