国家/地区 中国(27)
IPC部 H(18) C(13) B(2)
IPC大类 H01(18) C01(5) C23(5)
C30(3) C02(2)
IPC小类 H01L(15) C01B(5) C23C(5)
C30B(3) H01M(3) C02F(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(4) H01L021/205(4)
H01L021/324(3) C23C016/01(2) C30B025/18(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2) H01L021/28(2)
H01L021/336(2) H01M004/36(2)
发明人 WANG D(27)
公开年 2013(27)
申请年 2012(17)  2013(9) 
专利权人 UNIV XIDIAN(15) QINGDAO ZHON.(4) SEMICONDUCTO.(2) UNIV JILIN(2)