国家/地区 中国(9)
IPC部 C(6) H(5) B(4)
IPC大类 H01(5) B01(2) B82(2)
C01(2) C09(2)
IPC小类 H01L(4) B82Y(2) C01B(2)
IPC H01L021/336(4) C01B031/04(2) H01L021/28(2)
发明人 WU T(10)
公开年 2014(9)
申请年 2014(10)
专利权人 SHANGHAI INS.(4) UNIV TIANJIN.(2)