国家/地区 中国(6)
IPC部 H(4) G(2)
IPC大类 H01(4) G01(2)
IPC小类 H01L(4) G01R(2)
IPC H01L029/78(3) H01L021/336(2)
发明人 XIAO K(6)
公开年 2013(6)
申请年 2012(6) 
专利权人 UNIV TSINGHU.(6)