国家/地区 世界知识产权组织(7)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 H01(3) C08(2) C23(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC
发明人 XU S(7)
公开年 2017(2) 2021(2) 2022(2)
申请年 2016(3)  2021(3) 
专利权人