国家/地区 中国(6)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 C01(2) H01(2) H03(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L029/06(2)
发明人 YE T(6)
公开年 2012(4) 2013(2)
申请年 2012(6)
专利权人 UNIV PEKING(4) INST MICROEL.(2)