国家/地区 美国(9) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(7) C(4) G(4)
B(3)
IPC大类 H01(5) C23(4) G01(3)
B32(2) B82(2) H04(2)
IPC小类 H01L(5) C23C(4) B32B(2)
B82Y(2) G01N(2) H01J(2)
H04R(2)
IPC H01L029/16(4) H01L029/66(3) C23C014/30(2)
C23C018/08(2) H01J037/16(2) H01J037/20(2)
H01J037/26(2) H01L029/78(2) H04R019/00(2)
发明人 ZETTL A K(9)
公开年 2016(3) 2011(2)
申请年 2010(2)  2015(2) 
专利权人 UNIV CALIFOR.(8) ZETTL A K(3) CROMMIE M F(2) WANG F(2)