国家/地区 中国(8)
IPC部 C(4) H(4)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L031/18(2)
发明人 ZHANG B(8)
公开年 2012(8)
申请年 2011(7) 
专利权人 CHINESE ACAD.(2) SHANGHAI INS.(2) SUZHOU INST .(2)