| 国家/地区 |
美国(7)
|
| IPC部 |
C(5)
H(4)
G(3)
|
| IPC大类 |
C23(4)
H01(4)
G01(2)
|
| IPC小类 | C23C(4) H01L(4) |
| IPC |
C23C016/02(3)
C23C016/26(3)
H01L021/02(2)
H01L031/101(2) |
| 发明人 |
ZHOU J(7)
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| 公开年 | 2015(2) 2021(2) 2022(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 | APPLIED MATE.(2) |
YIEH E Y, NEMANI S D, YING C C, LIANG Q, CHEN E, ZHOU J
KARUPPIAH S, CHOU C, ZHOU J
LO Y, ZHOU J, MIAH M A R, ZHANG Y
ZHOU J, GUO S, YU Y, JI Z, DAI X, DENG J, CHEN X, CAI Q, CHU Z, LI F, LAN M
ZHOU J, CHEN E, LIANG Q, YING C C, NEMANI S D, YIEH E Y
