国家/地区 美国(7)
IPC部 C(5) H(4) G(3)
IPC大类 C23(4) H01(4) G01(2)
IPC小类 C23C(4) H01L(4)
IPC C23C016/02(3) C23C016/26(3) H01L021/02(2)
H01L031/101(2)
发明人 ZHOU J(7)
公开年 2015(2) 2021(2) 2022(2)
申请年 2020(2) 
专利权人 APPLIED MATE.(2)