国家/地区 中国(15)
IPC部 C(7) B(6) H(6)
G(2)
IPC大类 H01(6) B01(3) B82(3)
C01(3) C07(2) C09(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(5) B01J(3) B82Y(3)
C01B(2) C07C(2) G01N(2)
IPC H01L021/336(4) B01J023/46(2) B82Y030/00(2)
C01B031/04(2) G01N027/04(2) H01L029/78(2)
发明人 ZHU H(15)
公开年 2014(15)
申请年 2014(9)  2013(6) 
专利权人 INST MICROEL.(4) UNIV ANHUI T.(2) UNIV PEKING(2)